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【多选题】

​氮化硅的晶型有：

A.
β-氮化硅
B.
α-氮化硅
C.
ζ-氮化硅
D.
γ-氮化硅
题目标签：氮化硅
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参考答案：
举一反三

【多选题】​氮化硅的晶型有：
A.
β-氮化硅
B.
α-氮化硅
C.
ζ-氮化硅
D.
γ-氮化硅
查看完整题目与答案

【多选题】氮化硅陶瓷的特点
A.
硬度高
B.
摩擦因子小，具有自润滑性
C.
化学稳定性好
D.
较高的室温抗弯强度和断裂韧性
查看完整题目与答案

【判断题】多晶氮化硅膜厚度为80-85nm。
A.
正确
B.
错误
查看完整题目与答案

【判断题】管P膜的成分是氮化硅。
A.
正确
B.
错误
查看完整题目与答案

【多选题】镀氮化硅膜的主要作用有
A.
减少太阳光的反射
B.
氮化硅膜有良好的绝缘性
C.
对晶硅缺陷有钝化作用
D.
耐腐蚀性好
查看完整题目与答案

【单选题】氮化硅膜的折射率与什么有关
A.
组成薄膜的原子个数比
B.
薄膜的原始材料
C.
反应炉腔的洁净程度
D.
反应的时间
查看完整题目与答案

【多选题】氮化硅的CVD制备方法有（）。
A.
LCVD
B.
LPCVD
C.
PECVD
D.
APCVD
查看完整题目与答案

【单选题】氮化硅的性能不包括（）
A.
抗氧化性
B.
抗渣性
C.
抗热震性
D.
提高炮泥的磨蚀能力
查看完整题目与答案

【简答题】氮化硅在IC芯片上的用途
查看完整题目与答案

【多选题】氮化硅膜的特性
A.
强度高
B.
耐高温
C.
化学稳定性好
D.
绝缘
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A.
硬度高
B.
摩擦因子小，具有自润滑性
C.
化学稳定性好
D.
较高的室温抗弯强度和断裂韧性
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【判断题】多晶氮化硅膜厚度为80-85nm。
A.
正确
B.
错误
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【判断题】管P膜的成分是氮化硅。
A.
正确
B.
错误
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【多选题】镀氮化硅膜的主要作用有
A.
减少太阳光的反射
B.
氮化硅膜有良好的绝缘性
C.
对晶硅缺陷有钝化作用
D.
耐腐蚀性好
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【单选题】氮化硅膜的折射率与什么有关
A.
组成薄膜的原子个数比
B.
薄膜的原始材料
C.
反应炉腔的洁净程度
D.
反应的时间
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【多选题】氮化硅的CVD制备方法有（）。
A.
LCVD
B.
LPCVD
C.
PECVD
D.
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A.
抗氧化性
B.
抗渣性
C.
抗热震性
D.
提高炮泥的磨蚀能力
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A.
强度高
B.
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化学稳定性好
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