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【判断题】
离子注入与扩散工艺相比，具有很好的均匀性，注入杂质纯度比较高。
A.
正确
B.
错误
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参考答案：
举一反三
【多选题】离子注入有下面哪种特点：
A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
【单选题】用气不均匀性可以分为三种( )。
A.
年不均匀性、日不均匀性、时不均匀性
B.
月不均匀性、日不均匀性、时不均匀性
C.
年不均匀性、季节不均匀性、日不均匀性
D.
季节不均匀性、月不均匀性、日不均匀性
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D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
【单选题】用气不均匀性可以分为三种( )。
A.
年不均匀性、日不均匀性、时不均匀性
B.
月不均匀性、日不均匀性、时不均匀性
C.
年不均匀性、季节不均匀性、日不均匀性
D.
季节不均匀性、月不均匀性、日不均匀性
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