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【多选题】

硅片化学清洗常用的化学清洗剂有______。

A.
高纯水( DI H2 O )
B.
有机溶剂(如甲苯、二甲苯、丙酮、三氯乙烯、四氯化碳)
C.
浓酸(硫酸、硝酸等)
D.
强碱(氢氧化钠、氢氧化钾等)
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